特許
J-GLOBAL ID：200903022585046751

排ガスの熱酸化分解式除害装置

発明者：
小川 昌伸

小川 昌伸 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (3件)： 大胡 典夫 ,  竹花 喜久男 ,  宇治 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-044214
公開番号（公開出願番号）：特開2004-253699
出願日： 2003年02月21日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】例えばSiH4排ガスと、C2F6、CF4等のPFC排ガスの両方を、完全熱酸化分解させ、不完全熱酸化分解の際に生じるCOの発生を抑制しながら、一度に熱酸化分解処理して除害することができる排ガスの熱酸化分解式除害装置を提供する。【解決手段】SiH4と、C2F6、CF4等のPFCガスとが混合された混合排ガスを酸素と共に所定温度の反応器53内に導入し、該反応器53内で加熱して熱酸化分解させてから排出する装置で、反応器53が、排ガスの通流方向に隣接して順に配置した600°C〜700°Cの温度の第1反応室54と、1100°C以上の温度の第2反応室55とを備えると共に、熱酸化分解により生成された生成ガスを中和する中和ガスのNH3ガスを第2反応室に導入する中和ガス導入部56を備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
排ガスを酸化ガスと共に所定温度の反応器内に導入し、該反応器内で加熱して熱酸化分解させてから排出する排ガスの熱酸化分解式除害装置において、前記反応器が、前記排ガスの通流方向に隣接して順に配置した第1の温度の第1反応室と、前記第1温度と異なる第2の温度の第2反応室とを備えると共に、前記第2反応室に熱酸化分解により生成された生成ガスを中和する中和ガスを導入する中和ガス導入部を備えていることを特徴とする排ガスの熱酸化分解式除害装置。
IPC (5件)：
H01L21/205 ,  B01D53/46 ,  B01D53/70 ,  C23C16/44 ,  H01L21/3065
FI (5件)：
H01L21/205 ,  C23C16/44 E ,  H01L21/302 101G ,  B01D53/34 120A ,  B01D53/34 134E
Fターム (34件)：
4D002AA22 ,  4D002AA26 ,  4D002AC10 ,  4D002BA05 ,  4D002BA06 ,  4D002BA12 ,  4D002BA13 ,  4D002BA14 ,  4D002CA01 ,  4D002CA13 ,  4D002DA07 ,  4D002DA35 ,  4D002DA70 ,  4D002EA02 ,  4D002EA13 ,  4D002GA01 ,  4D002GB03 ,  4K030EA12 ,  4K030JA10 ,  5F004AA16 ,  5F004BC02 ,  5F004BD04 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA26 ,  5F045AC01 ,  5F045AC02 ,  5F045AC11 ,  5F045AC12 ,  5F045AC15 ,  5F045EF05 ,  5F045EG07 ,  5F045EK06
引用特許：
審査官引用 (3件)

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