特許

J-GLOBAL ID：200903022588023400

多層膜光学部材

発明者： 池田 浩
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-355899
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186403
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 薄膜の内部応力による変形を防ぐ。【構成】 多層膜を構成する各物質のうち、圧縮応力を持つ物質の応力s<SB>11</SB>,s<SB>12</SB>,s<SB>13</SB>,・・・・、それぞれの物質の多層膜における物理的膜厚の合計をd<SB>11</SB>,d<SB>12</SB>,d<SB>13</SB>,・・・とし、s<SB>11</SB>×d<SB>11</SB>+s<SB>12</SB>×d<SB>12</SB>+s<SB>13</SB>×d<SB>13</SB>+・・・をS<SB>1 </SB>とする。一方、引張応力を持つ物質の応力をs<SB>21</SB>,s<SB>22</SB>,s<SB>23</SB>,・・・、それぞれの物質の多層膜における物理的膜厚の合計をd<SB>21</SB>,d<SB>22</SB>,d<SB>23</SB>,・・・とし、の角度で傾くように配置する。s<SB>21</SB>×d<SB>21</SB>+s<SB>22</SB>×d<SB>22</SB>+s<SB>23</SB>×d<SB>23</SB>+・・・をS<SB>2 </SB>とする。そして、光学性能に影響を与えず、かつ、2/3<S<SB>1 </SB>/S<SB>2 </SB><3/2なる関数を満足できるようにする調整層を多層膜の少なくとも1層に設ける。

請求項（抜粋）：

基板と、この基板の表面に成膜した多層膜からなる多層膜光学部材において、上記多層膜を構成する各物質のうち、圧縮応力を持つ物質の応力をs<SB>11</SB>,s<SB>12, </SB>s<SB>13</SB>,・・・・・・、それぞれの物質の多層膜における物理的膜厚の合計をd<SB>11</SB>,d<SB>12</SB>,d<SB>13</SB>,・・・・・・として、S<SB>1 </SB>をs<SB>11</SB>×d<SB>11</SB>+s<SB>12</SB>×d<SB>12</SB>+s<SB>13</SB>×d<SB>13</SB>+・・・・・・とし、同様に、引張応力を持つ物質の応力をs<SB>21, </SB>s<SB>22, </SB>s<SB>23</SB>,・・・・・・、それぞれの物質の多層膜における物理的膜厚の合計をd<SB>21</SB>,d<SB>22</SB>,d<SB>23</SB>,・・・・・・として、S<SB>2 </SB>をs<SB>21</SB>×d<SB>21</SB>+s<SB>22</SB>×d<SB>22</SB>+s<SB>23</SB>×d<SB>23</SB>+・・・・・・としたとき、光学性能に影響を与えず、かつ、2/3<S<SB>1 </SB>/S<SB>2 </SB><3/2なる関係を満足できるようにする調整層を多層膜の少なくとも1層に設けたことを特徴とする多層膜光学部材。