特許
J-GLOBAL ID：200903022595041669
音響光学素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-002180
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205941
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】圧電振動子として強誘電体薄膜を光学媒体上に直接形成した音響光学素子を得る。【解決手段】石英ガラス11の上に、タンタル層を挟んで白金層による下部電極12を形成し、この白金層の上にPZT薄膜13をスパッタリングで形成する。このPZT薄膜13の上に白金層による上部電極14を形成して音響光学素子が製作される。
請求項（抜粋）：
光学媒体の一の面上に圧電振動子を配設して成る音響光学素子において、前記光学媒体の一の面上に強誘電体材料で薄膜を成膜して前記圧電振動子を形成したことを特徴とする音響光学素子。
IPC (2件)：
G01H 11/08
, G02F 1/11 505
G01H 11/08 A
, G02F 1/11 505
