特許

J-GLOBAL ID：200903022615402752

低損失光導波路及びその製造方法

発明者： 樫村 誠一 ,  本郷 晃史 ,  大平 健太郎
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-247435
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110424
出願日： 1994年10月13日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】 クラッドとコアとの間の屈折率差の制御が容易で、屈折率差を大きくとっても損失が増加しない低損失光導波路及びその製造方法を提供する。【構成】 基板10上に形成され低屈折率を有する下部クラッド層11と、下部クラッド層11の上に形成されたコア12と、コア12を覆う上部クラッド層13とからなる光導波路において、下部クラッド層11及び上部クラッド層13を、フッ素化合物を添加したSiO2 系材料で構成したことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基板上に形成され低屈折率を有する下部クラッド層と、該下部クラッド層の上に形成されたコアと、該コアを覆う上部クラッド層とからなる光導波路において、上記下部クラッド層及び上記上部クラッド層を、フッ素化合物を添加したSiO2 系材料で構成したことを特徴とする低損失光導波路。

IPC (2件)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/13

FI (2件)：

G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 M