特許
J-GLOBAL ID：200903022621493832
静電容量式変位検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-235939
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062110
出願日： 1996年08月19日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 小型の静電容量式変位センサでは、送信電極13の面積が極めて小さいものとなるため、送信電極13を基板裏面に導出する為のスルーホール17が測定誤差の原因になる。即ち、各送信電極13には交流信号が与えられて、対向する受信電極14との間の静電容量結合の大きさを測定することになるが、送信電極13が極めて小さい場合にはスルーホール17が送信電極13の面から形成される送信信号電界の均一性を乱す原因となり、この電界分布に与える影響を無視できなくなる。【解決手段】 送信電極13のスルーホール17を銅メッキ18を厚めに1回施すか若しくは複数回施し埋めることによって送信電極13を裏面配線に接続するスルーホール17による送信電界の乱れの影響が、複数種の送信信号が与えられる送信電極グループの間で均一化されるため、変位検出の測定精度が向上する。また、送信電極を裏面配線に接続するスルーホールの配置を工夫なく設定できるため、配線の自由度もます。このため、高精度化を図った静電容量式変位検出装置を提供することができる。
請求項（抜粋）：
表面に複数の送信電極が配列形成された第1のスケールと、前記送信電極と対向して容量結合する複数の受信電極が形成された第2のスケールとが相対移動可能に配置され、前記第1のスケールの各送信電極は、それぞれに穿たれたスルーホールの周囲にメッキされた銅の部分を介してスケール基板の裏面に導出され、この裏面において前記送信電極を複数本おきに共通接続して複数種の位相の異なる信号を供給する配線が形成された静電容量式変位検出装置において、前記第1のスケールの複数の送信電極のスルーホールは、銅メッキによってスルーホールが埋められていることを特徴とする静電容量式変位検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 7/00 K
, G01D 5/24 C
