フーリエスペクトル解析を用いる走査型スポット顕微鏡及びフーリエスペクトル解析の方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綿貫隆夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-542687
公開番号（公開出願番号）：特表2002-510808
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：

【要約】【課題】フーリエスペクトル解析の方法を利用して効率的な測定を可能とする走査型スポット顕微鏡を提供する。【解決手段】フーリエスペクトル解析を行う走査型スポット顕微鏡は、標本7の連続する位置を入射光スポットを走査する連続走査手段4を有する。干渉計8が顕微鏡の光路を横切るように配置され、該干渉計8は偏光装置間に位置する複屈折装置を含むと共に、一定の光路差を導く。連続した標本7の各位置からの入射光スポットがあるので、光信号を受光して記録する手段11が設けられている。一定の光路差は、各走査実行中は一定に保たれるが、各走査同士の間では変化し、その結果標本の位置に関連する光信号と、一定の光路差の値は記録可能になる。

請求項（抜粋）：

(i)入射光のスポット位置から連続する標本上の位置を走査することを含む走査動作を繰り返し行うための走査手段と、(ii)顕微鏡の光軸を横切るように配置され、光路内の偏光装置間に配置された複屈折装置を含み、一定の光路差を生じる干渉計と、(iii) 各標本位置からの入射光スポットについて光信号を受光して記録する記録手段とを備え、使用中は一定の光路差が各走査動作の間は維持されるが、走査動作同士の間には変化し、標本の位置に関連する光信号及び一定の光路差の値が記録されることを特徴とするフーリエスペクトル解析を用いた走査型スポット顕微鏡。

IPC (4件)：

G02B 21/00 , G01N 21/27 , G01N 21/64 , G02B 21/16

FI (4件)：

G02B 21/00 , G01N 21/27 E , G01N 21/64 E , G02B 21/16

Fターム (32件)：

2G043EA01 , 2G043FA02 , 2G043GA01 , 2G043GA02 , 2G043GA07 , 2G043GB01 , 2G043GB03 , 2G043GB19 , 2G043HA01 , 2G043HA02 , 2G043HA07 , 2G043HA09 , 2G043JA01 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G059EE07 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059FF03 , 2G059GG01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ15 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2H052AA07 , 2H052AA09 , 2H052AC04 , 2H052AC05 , 2H052AC15 , 2H052AF04

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