金属配線およびその製造方法およびその金属配線を用いた薄膜トランジスタおよび表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-053809
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244466
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 Niメッキ膜厚を薄くしても、Cu/Ni膜または、Cu/Au/Ni膜の表面にフクレ不良が発生しない金属配線の構造を提供する。【解決手段】この金属配線1は、無電解メッキによって形成されたNi膜12上に、順に、Au膜13とCu膜15が無電解メッキによって積層されたCu/Au/Ni膜構造において、Ni膜12のリン含有率xが、10wt%≦x≦15wt% である。このNi膜12のリンの含有率xが10〜15wt%のいわゆる高含リンタイプのNi膜12は、膜厚0.1μm以上の条件下で、緻密で平滑な膜を形成することが実験によって判明した。

請求項（抜粋）：

無電解メッキによって形成されたニッケル(Ni)膜上に、金(Au)膜と銅(Cu)膜との積層膜または銅(Cu)膜が無電解メッキによって積層されたメッキ膜構造の金属配線において、上記ニッケル(Ni)膜のリン含有率xが、10wt%≦x≦15wt%であることを特徴とする金属配線。

IPC (6件)：

H01L 29/786 , G02F 1/1343 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 21/288 , H01L 21/3205

FI (8件)：

G02F 1/1343 , G09F 9/30 338 , H01L 21/288 N , H01L 29/78 612 C , G02F 1/136 500 , H01L 21/88 R , H01L 29/78 617 L , H01L 29/78 617 M

Fターム (111件)：

2H092GA24 , 2H092GA60 , 2H092JA26 , 2H092JA28 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JB22 , 2H092JB24 , 2H092JB31 , 2H092JB33 , 2H092KA05 , 2H092KA12 , 2H092KB04 , 2H092MA06 , 2H092MA07 , 2H092MA11 , 2H092MA13 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092NA15 , 2H092NA18 , 2H092NA23 , 2H092NA27 , 2H092NA28 , 4M104AA08 , 4M104AA10 , 4M104BB02 , 4M104BB05 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB36 , 4M104CC05 , 4M104DD08 , 4M104DD09 , 4M104DD24 , 4M104DD36 , 4M104DD37 , 4M104DD51 , 4M104DD53 , 4M104DD78 , 4M104EE02 , 4M104EE16 , 4M104EE17 , 4M104GG20 , 4M104HH08 , 4M104HH16 , 5C094AA04 , 5C094AA14 , 5C094AA32 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB02 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EA10 , 5C094EB02 , 5C094FA02 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5C094GB10 , 5C094JA01 , 5C094JA08 , 5F033GG04 , 5F033HH05 , 5F033KK07 , 5F033KK11 , 5F033KK13 , 5F033PP26 , 5F033PP28 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ73 , 5F033QQ81 , 5F033RR02 , 5F033RR03 , 5F033RR06 , 5F033SS08 , 5F033SS11 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033XX08 , 5F033XX12 , 5F033XX34 , 5F110AA26 , 5F110AA28 , 5F110BB01 , 5F110CC01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE02 , 5F110EE15 , 5F110EE41 , 5F110FF03 , 5F110FF29 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110HK03 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110NN02 , 5F110NN24 , 5F110NN72

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-144522
特開平2-083533
特開平4-096022

審査官引用 (3件)

特開平2-144522
特開平2-083533
特開平4-096022

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