特許
J-GLOBAL ID:200903022622585854

焼結石英ガラス製品及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松本 英俊 (外1名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-503525
公開番号(公開出願番号):特表平10-502324
出願日: 1995年06月29日
公開日(公表日): 1998年03月03日
要約:
【要約】窒素と反応するヒドロキシル基またはその他の表面反応基と化学結合を持つ内部細孔を有する焼成多孔性シリカボディーまたはプリフォームから石英ガラス物を作る。これらの細孔に窒素含有還元ガスを導入した後に、25ppm以上の化学的結合された有効的な量の窒素を石英ガラスに付与するように、プリフォームを加熱する。高純度の石英ガラス中の微量な化学的結合された窒素は、十分に物理的特性を大きく改良し、透失に対する耐性を信じ難いほど増加させる。他の実施例においては、ヒドロキシルの含有量を増加させるために、多孔性シリカプリフォームを蒸気中で焼成し、それから窒素-水素還元雰囲気中で窒化する。
請求項(抜粋):
焼成プリフォームから高密度の石英ガラス物を作ることを特徴とする方法であって、 前記焼成プリフォームが、本質的に高純度シリカの微小粒子から耐熱性組成物を成形して作った多孔性シリカボディーを少なくとも1000°Cの温度で焼成して構成され、 前記シリカ粒子を合体して前記石英ガラス物を形成するために前記焼成プリフォームを焼結温度まで加熱し、 前記焼成プリフォームの複数の内部細孔の各表面に、窒素と反応する表面反応基を付与し、 前記プリフォームを、有効な量の化学的結合された窒素が石英ガラスに付与されるように、窒素還元雰囲気中で加熱することを特徴とする焼成プリフォームから高密度の石英ガラス物を作る方法。
IPC (3件):
C03B 20/00 ,  B01J 23/02 ,  C03B 8/02
FI (3件):
C03B 20/00 ,  B01J 23/02 M ,  C03B 8/02

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