表面処理方法およびそれを用いた薄膜磁気ヘッドの製造方法と薄膜磁気ヘッド

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：沼形義彰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-002157
公開番号（公開出願番号）：特開2002-212779
出願日： 2001年01月10日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】めっき処理やウェットエッチング処理の不良をなくすために表面の濡れ性を向上させる際に、フォトレジストおよび下地へのダメージを減らした表面処理方法を提供する。【解決手段】表面にフォトレジスト31をパターニングした表面のめっき処理あるいはウェットエッチング処理の前処理工程において、使用しているフォトレジストの感光波長よりも短波長の紫外光、波長172nm以下に最大ピークを持つ発光スペクトルを有する紫外光あるいは波長172nm以下の単色紫外光を、空気、酸素、オゾンのうち少なくとも1つを含む雰囲気で表面に照射する。

請求項（抜粋）：

表面にフォトレジストをパターニングした表面のめっき処理あるいはウェットエッチング処理の前処理工程において、使用しているフォトレジストの感光波長よりも短波長側に最大ピークを持つ発光スペクトルを有する紫外光を、空気、酸素、オゾンのうち少なくとも1つを含む雰囲気で表面に照射することを特徴とする表面処理方法。

IPC (14件)：

C25D 5/34 , B08B 3/08 , C23G 5/00 , C25D 5/48 , C25D 7/12 , G03F 7/40 , G03F 7/40 521 , G11B 5/31 , H01L 21/28 , H01L 21/288 , H01L 21/027 , H01L 21/304 645 , H01L 21/306 , H01L 21/3205

FI (15件)：

C25D 5/34 , B08B 3/08 Z , C23G 5/00 , C25D 5/48 , C25D 7/12 , G03F 7/40 , G03F 7/40 521 , G11B 5/31 M , H01L 21/28 A , H01L 21/288 E , H01L 21/304 645 D , H01L 21/30 570 , H01L 21/306 Z , H01L 21/306 D , H01L 21/88 B

Fターム (86件)：

2H096AA27 , 2H096AA30 , 2H096HA03 , 2H096HA17 , 2H096HA27 , 3B201AA03 , 3B201AA46 , 3B201BB83 , 3B201BB92 , 3B201BB95 , 3B201BB96 , 3B201CC11 , 4K024AA03 , 4K024AA09 , 4K024AB02 , 4K024AB08 , 4K024AB15 , 4K024BA11 , 4K024BB12 , 4K024BB14 , 4K024CA02 , 4K024DA03 , 4K024DA04 , 4K024DA10 , 4K024DB10 , 4K024FA05 , 4K024GA01 , 4K024GA16 , 4K053PA17 , 4K053QA04 , 4K053QA06 , 4K053RA02 , 4K053SA20 , 4K053TA09 , 4K053TA16 , 4M104AA01 , 4M104AA10 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB09 , 4M104BB36 , 4M104CC00 , 4M104CC01 , 4M104DD22 , 4M104DD37 , 4M104DD52 , 4M104DD53 , 4M104DD64 , 4M104DD75 , 4M104DD81 , 4M104EE05 , 4M104EE16 , 4M104EE18 , 4M104FF13 , 4M104HH08 , 4M104HH20 , 5D033CA04 , 5D033DA01 , 5D033DA04 , 5D033DA09 , 5D033DA31 , 5F033GG04 , 5F033HH07 , 5F033HH11 , 5F033HH15 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033PP33 , 5F033QQ07 , 5F033QQ19 , 5F033QQ48 , 5F033QQ51 , 5F033QQ53 , 5F033RR02 , 5F033RR03 , 5F033RR21 , 5F033RR22 , 5F033XX00 , 5F033XX13 , 5F033XX18 , 5F043AA26 , 5F043BB18 , 5F043CC09 , 5F043DD01 , 5F046LA18

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