特許
J-GLOBAL ID：200903022624322354
計算機ホログラムを有する平板及びそれを用いた計測 方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-168772
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014854
出願日： 1994年06月28日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 計算機ホログラムを用いて光学的に被検物体、特に非球面の形状測定を行う場合に好適な計算機ホログラムを有する平板及びそれを用いた計測方法を提供すること。【構成】 透明な平板上に被検査非球面の等価波面を発生する測定用計算機ホログラムと、干渉計に対する基板位置合わせ用の計算機ホログラムに加えて、測定用ホログラムに対する被検査非球面の正しい設置位置を確認する為の被検物位置出し計算機ホログラムを設けた平板を使用し、干渉計を使用してガラス平板の位置合わせ、被検面の適切な位置設定、被検面の検査を行う。
請求項（抜粋）：
透明な平板の面上に被検査面を計測する為の波面を所定の入射光波面に対して発生させる透過型の測定用計算機ホログラム及び該測定用計算機ホログラムに対する該被検査面の適切な位置を設定する為の透過回折光を発生する透過型の被検物位置出し計算機ホログラムを形成していることを特徴とする計算機ホログラムを有する平板。
IPC (2件)：
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