特許
J-GLOBAL ID：200903022625862107
洗浄方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-251431
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118821
出願日： 1991年12月11日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【目的】 硫酸と過酸化水素水の混合液を洗浄液として用いる洗浄方法において、洗浄力の低下、薬液の過剰消耗を伴うことなく安定した洗浄を行うことができるようにする。【構成】 洗浄に使用するところの硫酸と過酸化水素水の混合液の硫酸濃度及び過酸化水素濃度を測定してそれぞれ第1の所定値a、b以上であることを確認しながら、上記液温を測定し、それが予め設定された基準温度cよりも高いときは上記混合液を上記基準温度以下になるように冷却して常に上記液温を基準温度以下に保つようにして洗浄を行うこととする。そして、洗浄中は、上記硫酸濃度及び過酸化水素水濃度がそれぞれ第2の所定値d、e以上である場合には洗浄を続け、第2の所定値d、e以下になった場合洗浄を停止する。
請求項（抜粋）：
洗浄に用いる硫酸と過酸化水素水の混合液の硫酸濃度及び過酸化水素濃度を測定してそれぞれ予め設定された第1の所定値以上であることを確認しながら、上記液温を測定し、それが予め設定された基準温度よりも高いか否かを判定し、高いときは上記混合液を上記基準温度以下になるように冷却して常に上記液温を基準温度以下に保つようにして洗浄を行い、上記洗浄中、硫酸と過酸化水素水の混合液の硫酸濃度及び過酸化水素水濃度を測定してそれぞれ予め設定された第2の所定値以上である場合には洗浄を続け、第2の所定値以下になった場合洗浄を停止することを特徴とする洗浄方法。
IPC (5件)：
H01L 21/304 648
, H01L 21/304 647
, B08B 3/08
, C11D 7/08
, C11D 7/18
H01L 21/304 648 G
, H01L 21/304 647 Z
, B08B 3/08 Z
, C11D 7/08
, C11D 7/18
