特許
J-GLOBAL ID：200903022630197928
光学的変位検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-327146
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166413
出願日： 1995年12月15日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 光てこ方式の光学的変位検出装置において、カンチレバーの撓み方向(上下方向)への変位しか検出できず、被測定物が平行移動した場合にはその変位を全く検出することができない。【解決手段】 従来は必須構成であったカンチレバーとその表面に設置される平面鏡に代えて、曲面鏡のみでこれをする。全体構成が簡易、小型化、安価となった上、上下、左右方向への移動をも検出することができ、また、構成に機械的な力が加わらないので、経時的にも安定し、信頼度の高い検出を長期間にわたって可能とした。さらには、従来のカンチレバーの曲げ曲面よりも高い任意の曲率を有する曲面鏡を使用することにより、従来のものよりも変位量の増幅率も大幅に向上させることができ、より高い精度での変位検出が可能となった。
請求項（抜粋）：
測定光を発する発光部と、被測定物の変位量との相関を持って測定光の入射位置が移動するように構成される曲面を有する反射鏡と、該反射鏡により反射する測定光の反射角度の変化を測定可能な受光部とからなり、前記発光部から発せられ前記反射鏡の曲面部で反射される測定光の、被測定物の変位に伴う反射角度の変化量から被測定物の変位量を検出するようにしたことを特徴とする光学的変位検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 F
, G02B 5/10 A
