特許

J-GLOBAL ID：200903022636148287

基板用カセットの位置決め治具

発明者： 石川 貴之
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-349025
公開番号（公開出願番号）：特開2003-152068
出願日： 2001年11月14日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 基板用カセットの棚板を位置決めする際に、棚板を正確に効率良く位置決めできる位置決め治具を提供すること。【解決手段】 位置決め治具10は、枠体31内に互いに平行に設けられた複数対の棚板32の対向する面に同一方向に平行に延びる複数の溝33を備え、複数の方形基板の2辺を各対の棚板の溝に差し込んで一括収納する基板用カセット30に用いられ、各対の棚板間に収納される基板のサイズに対応したスペーサー11と、各スペーサーを一体に支持する支持部材12とを備え、各対の棚板に対して各スペーサーを装着し各棚板の位置決めを行う。

請求項（抜粋）：

枠体内に互いに平行に設けられた複数対の棚板の対向する面に同一方向に平行に延びる複数の溝を備え、複数の方形基板の2辺を各対の棚板の溝に差し込んで一括収納する基板用カセットに用いられ、各対の棚板間に収納される基板のサイズに対応したスペーサーと、各スペーサーを一体に支持する支持部材とを備え、各対の棚板に対して各スペーサーを装着し各棚板の位置決めを行う基板用カセットの位置決め治具。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  B65G 1/00 537

FI (3件)：

H01L 21/68 V ,  B65G 1/00 537 A ,  B65D 85/38 R

Fターム (25件)：

3E096AA06 ,  3E096BA17 ,  3E096BB03 ,  3E096BB08 ,  3E096CA02 ,  3E096CA09 ,  3E096CB03 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB06 ,  3E096FA09 ,  3E096FA30 ,  3E096GA13 ,  3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031EA19 ,  5F031FA02 ,  5F031FA09 ,  5F031FA18 ,  5F031PA16 ,  5F031PA20 ,  5F031PA26