特許

J-GLOBAL ID：200903022638713429

真空紫外用光学部材およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： 雄山 泰直
出願人/特許権者： 株式会社オプトロン ,  キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-056618
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244188
出願日： 2000年03月02日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 低吸収で、潮解性や劈開性も少ない真空紫外用光学部材を実現する。【解決手段】 Li、Na、Cs等のアルカリハライドと、Ca、Sr、Ba、Mg、Zn等のアルカリ土類金属その他のハライドを1対1で混合して焼結し、AMF3 型ペロブスカイト構造のフッ化物結晶を成長させる。この結晶を加工して、エキシマレーザ用のレンズ、ミラー、プリズム等の光学部材の基体を製作する。あるいは上記結晶を蒸着源として光学部材の基体にコーティングする。真空紫外域において低吸収で、耐久性にすぐれた光学部品を得ることができる。

請求項（抜粋）：

AMF3 型ペロブスカイト構造の結晶を加工して得られた基体を有することを特徴とする真空紫外用光学部材。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/02 ,  G03F 7/20 502

FI (4件)：

C30B 29/12 ,  G02B 1/02 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (16件)：

2H097CA06 ,  2H097CA13 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  4G077AA02 ,  4G077AB04 ,  4G077BE02 ,  4G077FJ06 ,  4G077HA01 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CA07 ,  5F046CB07 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB27