特許
J-GLOBAL ID:200903022643392398
有機ゲート絶縁膜およびこれを用いた有機薄膜トランジスタ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
八田 幹雄
, 野上 敦
, 奈良 泰男
, 齋藤 悦子
, 宇谷 勝幸
, 藤井 敏史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-331767
公開番号(公開出願番号):特開2004-115805
出願日: 2003年09月24日
公開日(公表日): 2004年04月15日
要約:
【課題】 有機薄膜トランジスタの製造において、有機活性膜の形成に有利な条件を提供し、素子特性を向上させうる有機ゲート絶縁膜およびこれを用いた有機薄膜トランジスタを提供する。【解決手段】 有機絶縁高分子に光配向基を導入して有機活性膜の配向を増加させることにより、電荷移動度を向上させながら、有機活性膜のグレインサイズを増加る。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
下記化学式(1)で表される有機絶縁高分子からなる有機ゲート絶縁膜:
IPC (4件):
C08F222/40
, H01L21/312
, H01L29/786
, H01L51/00
FI (5件):
C08F222/40
, H01L21/312 A
, H01L29/78 618B
, H01L29/78 617T
, H01L29/28
Fターム (46件):
4J100AB07Q
, 4J100AB07S
, 4J100AM49P
, 4J100AM49R
, 4J100BA03R
, 4J100BA03S
, 4J100BA15P
, 4J100BA15Q
, 4J100BC43P
, 4J100BC43Q
, 4J100CA04
, 4J100CA06
, 4J100DA55
, 4J100JA44
, 5F058AA10
, 5F058AC10
, 5F058AF04
, 5F058AF06
, 5F058AG01
, 5F058AH04
, 5F110AA01
, 5F110CC03
, 5F110CC07
, 5F110DD05
, 5F110DD13
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE07
, 5F110EE08
, 5F110EE43
, 5F110FF01
, 5F110FF02
, 5F110FF27
, 5F110FF36
, 5F110GG05
, 5F110GG24
, 5F110GG28
, 5F110GG29
, 5F110GG42
, 5F110HK02
, 5F110HK03
, 5F110HK04
, 5F110HK07
, 5F110HL22
, 5F110QQ14
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
米国特許第5,946,551号明細書
-
米国特許第6,232,157号明細書
審査官引用 (2件)
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