特許

J-GLOBAL ID：200903022644002364

ワイヤーバンピング装置のキャピラリー

発明者： 重谷 寿士 ,  鈴木 一高
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (1件)： 吉田 精孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115720
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307566
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】 適度な高さをもった小径のバンプを形成できるワイヤーバンピング装置のキャピラリーを提供する。【解決手段】 先端部に中心軸を同じにして順次連結した円筒形の挿通部31と円筒形の第1中空部32と直円錐台形の第2中空部33を形成し、挿通部31に通す導電体ワイヤーの径<挿通部31の内径(H1)<第1中空部32の内径(H2)<第2中空部33の先端開口径(Be)となるようにこれらの径を設定したキャピラリーを用いてワイヤーバンピングを行う。これにより、中空部32,33に保持された熔融導電体がバンプ形成面に押しつけられるとき、熔融導電体は中空部32,33の内面に誘導されてキャピラリーの先端から後端方向へ流動するので、バンプ形成面の拡がる方向への熔融導電体の広がりが抑制され、適度な高さを有する小径のバンプを形成することができる。

請求項（抜粋）：

バンプ形成面に対して垂直方向に伸長され且つ導電体ワイヤーを挿通するキャピラリーの先端部に放電を生じさせる放電発生手段を有し、前記キャピラリーの先端においてキャピラリーに挿通されている導電体ワイヤーの先端部を放電によって熔融させ、該熔融した導電体をバンプ形成位置に押しつけてバンプを形成するワイヤーバンピング装置のキャピラリーであって、前記キャピラリーは、先端方向に延び、前記導電体ワイヤーを挿通する筒状の挿通部と、該挿通部の先端開口からキャピラリーの先端開口に亘って前記挿通部と同じ中心軸をもつように順次連結された2つ以上の中空部とを有し、前記キャピラリーの先端開口径は前記挿通部の先端開口径よりも大きく設定され、各中空部間の連通口の径は前記挿通部の開口径よりも大きく設定され且つ各連通口の径はキャピラリーの先端側から後端側に向かって順次小さくなるように設定されると共に各連通口において隣り合う中空部内面のなす角度が180度よりも大きく設定され、各中空部では、前記中心軸に垂直な任意の断面における内径が、先端の断面における内径以下であり且つ前記断面の内径が変化する箇所では先端側から後端側へ減少するように中空部内面が形成されていることを特徴とするワイヤーバンピング装置のキャピラリー。

IPC (3件)：

H01L 21/60 ,  H01L 21/60 301 ,  H01L 21/60 311

FI (3件)：

H01L 21/92 604 K ,  H01L 21/60 301 G ,  H01L 21/60 311 S