特許

J-GLOBAL ID：200903022644113468

基板の保持装置

発明者： 上田 一成
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 大森 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-077821
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277600
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 搬送先の装置内の正確な位置に基板を搬送することができる基板の保持装置の提供。【解決手段】 搬送装置50、60から各種装置にウェハWを受け渡す際に、ピンセット57の各支持部材124〜127を下方へ傾けてウェハWを傾斜面を滑り落とさせて、位置決めを行うように構成したので、ウェハWを正確な位置に位置決めすることができ、搬送先の装置内の正確な位置にウェハWを搬送することができる。

請求項（抜粋）：

基板の外周をその半周以上に渡って囲む形態のフレーム部と、前記フレーム部の内周に設けられ、前記基板を水平に支持するととも下方へ傾斜自在にされた複数の支持部材とを具備することを特徴とする基板の保持装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 S ,  H01L 21/68 G ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (25件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA03 ,  5F031GA06 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA15 ,  5F031GA38 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031MA02 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F046CD01 ,  5F046CD03 ,  5F046CD10 ,  5F046JA22 ,  5F046KA07 ,  5F046LA18