特許
J-GLOBAL ID：200903022644689300

半導体素子の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物、それを用いた層間絶縁膜及び層間絶縁膜の製造方法

発明者：
加藤 禎明

加藤 禎明 について

, 
松坂 治

松坂 治 について

, 
谷本 明敏

谷本 明敏 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  赤堀 龍吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-029450
公開番号（公開出願番号）：特開2008-197160
出願日： 2007年02月08日
公開日（公表日）： 2008年08月28日
要約：
【課題】 ポリイミド樹脂前駆体を用いつつ、十分な現像性を得ることができ、厚膜で解像度よく像形成を行うことが可能であり、且つ、可とう性に優れた層間絶縁膜を形成することが可能な半導体素子の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)下記一般式(1)で表される構造を有するアルカリ可溶性のポリアミック酸と、(B)分子内にウレタン結合及びエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含む、半導体素子の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。 【化1】 【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される構造を有するアルカリ可溶性のポリアミック酸と、 (B)分子内にウレタン結合及びエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、 (C)光重合開始剤と、 を含む、半導体素子の層間絶縁膜用感光性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/037 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 299/06 ,  C08G 73/10 ,  C08F 2/44 ,  C08L 79/08
FI (8件)：
G03F7/037 501 ,  G03F7/027 513 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F299/06 ,  C08G73/10 ,  C08F2/44 C ,  C08L79/08 A
Fターム (73件)：
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC45 ,  2H025BC48 ,  2H025BC66 ,  2H025CA00 ,  2H025CB25 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002BQ002 ,  4J002CM041 ,  4J002GQ01 ,  4J011PA97 ,  4J011PB28 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J043PA05 ,  4J043QB26 ,  4J043RA07 ,  4J043SA72 ,  4J043SB03 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA151 ,  4J043UB021 ,  4J043UB122 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043XA19 ,  4J043ZB22 ,  4J127AA03 ,  4J127AA06 ,  4J127BB031 ,  4J127BB051 ,  4J127BB111 ,  4J127BB221 ,  4J127BC021 ,  4J127BC051 ,  4J127BC151 ,  4J127BD431 ,  4J127BD461 ,  4J127BD471 ,  4J127BE24Y ,  4J127BE241 ,  4J127BF14X ,  4J127BF141 ,  4J127BF27X ,  4J127BF271 ,  4J127BF61X ,  4J127BF611 ,  4J127BF64X ,  4J127BF641 ,  4J127BG04X ,  4J127BG041 ,  4J127BG09X ,  4J127BG091 ,  4J127BG14X ,  4J127BG141 ,  4J127BG27X ,  4J127BG271 ,  4J127BG31X ,  4J127BG311 ,  4J127CA01 ,  4J127DA23 ,  4J127DA51 ,  4J127FA37
引用特許：
出願人引用 (5件)
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