特許
J-GLOBAL ID：200903022645509985
走査型露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-135615
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008159
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 マスク(レチクル等)及び感光性の基板(ウエハ等)の加速開始から同期が取られるまでの時間を短縮する。【構成】 レチクル側の走査用の粗動ステージ上に位置及び速度を微調整する微動ステージを設ける。速度指令発生手段41からの速度指令信号に基づいてウエハステージ速度制御系52及びレチクル粗動ステージ速度制御系54を介してウエハステージ及びレチクルの粗動ステージの速度を制御し、レチクル側の微動ステージとウエハステージとの相対位置差、その粗動ステージとウエハステージとの相対速度差に基づいてレチクル微動ステージ速度制御系56を介して微動ステージの速度を制御する。相対速度差をフィードフォワードするループ内に微動ステージの機械共振周波数成分を除去するノッチフィルタ手段58を配置する。
請求項（抜粋）：
転写用のパターンが形成されたマスクを走査するマスク側ステージと、感光性の基板を走査する基板側ステージとを有し、前記マスク上の所定形状の照明領域を露光用の照明光で照明した状態で、前記所定形状の照明領域に対して前記マスクを所定の方向に走査するのと同期して前記基板を所定の方向に走査することにより、前記基板上に前記マスクのパターンを逐次露光する走査型露光装置において、前記マスク側ステージ及び前記基板側ステージの走査速度を計測する速度計測手段と、前記マスク側ステージ及び前記基板側ステージの少なくとも一方の目標走査速度に対応する速度指令信号を発生する速度設定手段と、該速度設定手段から発生された速度指令信号に基づいて前記マスク側ステージ及び前記基板側ステージの走査速度を制御するステージ速度制御手段と、前記マスク側ステージと前記基板側ステージとの相対速度差に応じた信号を前記ステージ速度制御手段の速度指令信号に加算する演算手段と、該演算手段から前記ステージ速度制御手段に供給される信号から所定の周波数成分を除くフィルタ手段と、を備えたことを特徴とする走査型露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
