特許

J-GLOBAL ID：200903022647221806

圧子形状測定器

発明者： 川添 勝
出願人/特許権者： 株式会社アカシ
代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-102784
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294428
出願日： 2002年04月04日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】 測定をより容易にできると共に、光学系の構成を簡素化できる圧子形状測定器を提供する。【解決手段】 圧子が理想形状にあるか否かを測定する圧子形状測定器1であって、入射する光波から、前記圧子の理想形状の立体形状を映す理想形状波Pを再生するホログラム13を有し、圧子の立体形状を反映する光波である被測定波Qと、ホログラム13から再生される理想形状波Pである参照波Rと、を同一方向に再生させる光波形成手段20とを備えて圧子形状測定器1を構成する。そして、光波形成手段20によって再生される被測定波Qと参照波Rとが干渉縞を生じるか否かを観察するためのスクリーン16とを備える。

請求項（抜粋）：

圧子が理想形状にあるか否かを測定する圧子形状測定器であって、入射する光波から、前記圧子の理想形状の立体像を映す理想形状波を再生する回折光学素子を有し、前記圧子の立体形状を反映する光波である被測定波と、前記回折光学素子から再生される理想形状波である参照波と、を同一方向に再生させる光波形成手段と、該光波形成手段によって再生される前記被測定波と前記参照波とが干渉縞を生じるか否かを観察するための観察手段と、を備えることを特徴とする圧子形状測定器。

IPC (2件)：

G01B 11/26 ,  G01N 3/42

FI (2件)：

G01B 11/26 G ,  G01N 3/42 D

Fターム (9件)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC00 ,  2F065FF48 ,  2F065FF54 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ14 ,  2F065JJ26

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭64-021303
  
• 特開平1-116403
  
• ホログラム干渉計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-170464   出願人：富士写真光機株式会社

審査官引用 (1件)

• 特開昭64-021303