特許

J-GLOBAL ID：200903022647260313

研磨方法

発明者： 横山 真司
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-031219
公開番号（公開出願番号）：特開2002-233952
出願日： 2001年02月07日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：

【要約】【課題】 工具の状態、加工条件のバラツキ等があっても、同一の品質の高い面精度での研磨を行う。【解決手段】 被加工物5に対して部分的に工具1を当接した状態で相対的に走査させて研磨加工を行う。加工前の被加工物5の形状を測定し、測定した形状から走査速度を設定して被加工物5の全面を研磨加工する予備研磨工程と、予備研磨工程の研磨前後の被加工物5の形状を比較して被加工物5の各点における単位時間当たりの研磨量を算出する工程と、算出した単位時間当たりの研磨量を用いて予備研磨後の形状から理想形状を得るための研磨条件を算出する工程と、理想形状を得るための研磨を行う仕上げ研磨工程とからなる。

請求項（抜粋）：

被加工物に対して部分的に工具を当接した状態で相対的に走査させて研磨加工を行う方法において、加工前の被加工物の形状を測定し、測定した形状から走査速度を設定して被加工物の全面を研磨加工する予備研磨工程と、この予備研磨工程の研磨前後の被加工物の形状を比較して被加工物の各点における単位時間当たりの研磨量を算出する工程と、算出した単位時間当たりの研磨量を用いて予備研磨後の形状から理想形状を得るための研磨条件を算出する工程と、理想形状を得るための研磨を行う仕上げ研磨工程とからなることを特徴とする研磨方法。

IPC (2件)：

B24B 49/02 ,  B24B 13/06

FI (2件)：

B24B 49/02 Z ,  B24B 13/06

Fターム (11件)：

3C034AA13 ,  3C034AA17 ,  3C034CA04 ,  3C034CA05 ,  3C049AA03 ,  3C049AA11 ,  3C049AB01 ,  3C049BB06 ,  3C049BB09 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 修正研磨加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-219418   出願人：大阪機工株式会社
• 特開昭63-232964