特許

J-GLOBAL ID：200903022648062183

ウェーハ面取装置

発明者： 高谷 淳 ,  池田 一実
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-055190
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249688
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】スループットが高く、効率的な運転を行うことができるウェーハ面取装置の提供。【解決手段】ウェーハ面取装置10に、ウェーハWの面取り加工を各々独立して行うことができる加工ユニット48を複数設置するとともに、該加工ユニット48をウェーハ面取装置10の本体フレーム10Aから着脱自在に構成する。これにより、たとえば、1つの加工ユニット48が故障した場合であっても、その故障した加工ユニット48のみを本体フレーム10Aから取り外し、装置外で修理することにより、修理中に残りの加工ユニット48を無駄なく稼働させることができる。

請求項（抜粋）：

ウェーハが多数格納された供給カセットからウェーハを取り出して加工部に搬送し、該加工部でウェーハの外周の面取り加工を行ったのち、その面取り加工の完了したウェーハを前記加工部から取り出して、回収カセットに格納するウェーハ面取装置において、前記加工部に前記ウェーハの面取り加工を各々独立して行うことができる加工ユニットを複数設置するとともに、該加工ユニットを前記ウェーハ面取装置の装置本体から着脱自在にしたことを特徴とするウェーハ面取装置。