特許
J-GLOBAL ID:200903022648811208

レーザ発振器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 服部 毅巖
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-188586
公開番号(公開出願番号):特開平8-056028
出願日: 1994年08月10日
公開日(公表日): 1996年02月27日
要約:
【要約】【目的】 加工物からの反射光による信頼性および生産性の低下を防ぐことができるようにする。【構成】 レーザ発振器内のリア鏡2と出力鏡4との間には折り返し鏡3が設けられている。折り返し鏡3の表面にはコーティングが施してあり、このコーティングによりS偏光は効率よく反射するが、P偏光に対する反射率は低く押さえられている。リア鏡2と出力鏡4との間で増幅されたレーザ光1は出力鏡4から外部に出力される。このとき出力されるレーザ光1はS偏光1aである。出力されたS偏光1aは0度シフトミラー5と1/4波長位相遅延ミラー6とにより円偏光に変換される。円偏光に変換されたレーザ光1はミラー7で垂直方向に方向を変えて、集光レンズ8で加工物9上に集光される。加工物9に照射されたレーザ光1の一部は反射され、出射された径路を戻っていく。この反射光が出力鏡4に入力されるときにはP偏光1bとなる。このレーザ発振器内の戻ってきたP偏光1bは、折り返し鏡3で反射する際に減衰する。
請求項(抜粋):
レーザ光を出力するレーザ発振器において、S偏光に対しては高い反射率を有し、P偏光に対しては、前記P偏光が増幅されない程度に低い反射率を有する、少なくとも1枚の折り返し鏡、を有することを特徴とするレーザ発振器。
IPC (3件):
H01S 3/081 ,  B23K 26/06 ,  G02B 27/28

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