特許

J-GLOBAL ID：200903022653259750

クリーンルーム用空調システム

発明者： 関根 誠 ,  加藤 彰
出願人/特許権者： 三機工業株式会社
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-344288
公開番号（公開出願番号）：特開平6-193911
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、半導体工場等で供されるクリーンルーム用空調システムに関し、詳しくは、空気清浄作用を有する空気調和機に関し、フィルタ本体からの成分再飛散,再溶出を無くすことにより、空気中の塵埃成分は勿論金属成分,ガス成分を除去し、高品位の清浄空気を供給することを目的とする。【構成】 空気調和機は、一側に空気取入口が形成され、他側に送気ダクトに連通する空気排出口を形成してなる空気洗浄室と、空気洗浄室内に配設され純水を噴出する噴霧ノズルとを備えている。

請求項（抜粋）：

クリーンルームに送気ダクトを介して空気調和機から清浄空気を送るクリーンルーム用空調システムにおいて、前記空気調和機は、一側に空気取入口が形成され、他側に送気ダクトに連通する空気排出口を形成してなる空気洗浄室と、空気洗浄室内に配設され純水を噴出する噴霧ノズルとを備えていることを特徴とするクリーンルーム用空調システム。

IPC (3件)：

F24F 3/16 ,  F24F 3/044 ,  F24F 7/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-235745
  
• 特開平4-367706
  
• 空気浄化調和装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-223572   出願人：高砂熱学工業株式会社