熱処理装置および熱処理装置における加熱条件取得方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西教圭一郎 , 杉山毅至
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-297031
公開番号（公開出願番号）：特開2008-117810
出願日： 2006年10月31日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：

【課題】半導体ウェハに均一な熱処理を行うために、ボートおよび半導体ウェハがプロセスチューブ内に挿入された状態で温度プロファイル取りを行う場合において、温度プロファイル用熱電対が邪魔にならないことによって、半導体ウェハを保持するボートの搬送および移載を容易に行うことができる熱処理装置および熱処理装置における加熱条件取得方法を提供する。【解決手段】熱処理装置30は、半導体ウェハ1を保持したボート2を搭載するとともに、半導体ウェハ1を保持したボート2が搭載された状態で、半導体ウェハ1およびボート2と予め定める距離で離間した位置に、温度プロファイル用熱電対9を内蔵する温度プロファイル用熱電対保護管16を保持する固定治具11が設けられたカンチレバーパドル3を備える。ボート2および半導体ウェハ1が横型拡散炉20に挿入された状態で温度プロファイルを取り、この温度プロファイルに基づいてヒータ5を制御する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の熱処理対象物を保持可能な熱処理対象物保持部と、熱電対および前記熱電対を支持する熱電対支持部と、前記熱電対および前記熱電対支持部が、前記熱処理対象物保持部および前記熱処理対象物保持部に保持される熱処理対象物にそれぞれ離間し、かつ前記熱処理対象物保持部に近接するように前記熱電対支持部を着脱可能に保持する熱電対位置決め保持部と、搬入出口を有する熱処理炉と、遊端部に前記熱処理対象部保持部を搭載し、前記熱処理対象部保持部よりも基端部寄りに前記熱電対位置決め保持部が設けられるカンチレバーを備え、前記カンチレバーを前記搬入出口から熱処理炉内に挿入することによって、前記熱処理対象物保持部および前記熱電対位置決め保持部を前記熱処理炉に搬入し、熱処理炉内に挿入された前記カンチレバーを引出すことによって、前記熱処理対象物保持部を前記熱処理炉の外部に搬出可能な搬送手段と、前記熱処理炉の外部に設けられる加熱手段と、前記熱電対によって温度を検出する検出手段と、記憶手段と、制御手段とを含み、前記制御手段は、前記熱処理対象物保持部および熱電対位置決め保持部が前記熱処理炉に搬入された状態で、前記加熱手段を制御して前記熱処理対象物を加熱したときに、前記検出手段によって検出される温度プロファイルを取得して前記記憶手段に記憶させ、記憶させた温度プロファイルに基づいて、前記加熱手段を制御可能であることを特徴とする熱処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/22 , H01L 21/31 , H01L 21/324

FI (5件)：

H01L21/22 501N , H01L21/31 E , H01L21/22 501G , H01L21/324 T , H01L21/324 Q

Fターム (9件)：

5F045AA20 , 5F045BB01 , 5F045BB10 , 5F045DP20 , 5F045EK06 , 5F045EK22 , 5F045EK27 , 5F045GB15 , 5F045GB16

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭64-30215号公報
特開平2-294024号公報
実開平5-36829号公報

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