特許

J-GLOBAL ID：200903022658735658

X線分光器

発明者： 古味 秀人
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-151635
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340897
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 分析点の多い分析における測定時間を短縮し、またスペクトル測定においてバックグラウンドの変化率の大きい領域において微小ピークも正確に検出するX線分光器を提供する。【構成】 分光結晶2を用いて軟X線を分光検出するX線分光器において、スリット位置をずらすことによってピーク、バックグラウンド長波長側、及びバックグラウンド短波長側の3つのスペクトルを検出するX線検出器3と、前記X線検出器の出力によってバックグラウンドを補正する補正手段6とによってX線分光器を構成し、リアルタイムでバックグラウンドを補正し、元素の特性X線ピークの信号強度分のみの計測、あるいはピークのみのスペクトル測定を行う。

請求項（抜粋）：

分光結晶を用いて軟X線を分光検出するX線分光器において、(a)スリット位置をずらすことによってピーク、バックグラウンド長波長側、及びバックグラウンド短波長側の3つのスペクトルを検出するX線検出器と、(b)バックグラウンドを補正する補正手段とを有し、(c)前記補正手段に前記X線検出器の出力を入力し、前記X線検出器のピークに係わる信号のバックグラウンドをリアルタイムで補正することを特徴とするX線分光器。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-027740
  
• 特開昭63-313043
  
• 特開昭55-129735