特許

J-GLOBAL ID：200903022664457694

膜厚測定方法ならびにその方法を用いた膜厚計

発明者： 脇田 昭平
出願人/特許権者： 脇田 昭平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-284132
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059993
出願日： 2001年08月16日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】 蒸着機などで成長中の膜の膜厚をタングステンランプを光源とする光を膜厚測定用光として用いて測定していたが、層数の多い多層膜のように高度な仕様の膜の膜厚を正確に測定することができなかった。【解決手段】 膜厚測定用光の光源としてファイバレーザを用いた光源を用いて上記課題を解決するとともに、これに加えて透過型と反射型の膜厚測定を組合せることにより膜厚測定精度を飛躍的に向上させることができた。

請求項（抜粋）：

光源からの膜厚測定用光を入射光として膜に入射させ、前記膜からの出射光を測定して前記膜の厚みを測定する膜厚測定方法において、前記光源として、レーザ共振器に光ファイバを用いたレーザであるいわゆるファイバレーザを用いた光源を用いることを特徴とする膜厚測定方法。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/02 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/06

FI (5件)：

H01L 21/66 P ,  G01B 11/02 Z ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/00 F ,  H01S 3/06 B

Fターム (56件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB17 ,  2F065BB23 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065DD05 ,  2F065FF44 ,  2F065FF46 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL20 ,  2F065LL21 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL53 ,  2F065NN02 ,  2F065NN06 ,  2F065NN08 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002CA03 ,  2K002HA20 ,  4M106BA05 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH16 ,  4M106DH32 ,  4M106DH39 ,  4M106DH40 ,  4M106DJ11 ,  5F072AK06 ,  5F072JJ04 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK05 ,  5F072KK12 ,  5F072KK15 ,  5F072KK16 ,  5F072MM06 ,  5F072QQ02 ,  5F072YY08 ,  5F072YY11