特許

J-GLOBAL ID：200903022668863832

走査型電子顕微鏡およびその観察方法

発明者： 大蔵 昭光 ,  岩本 寛 ,  大高 正 ,  戸所 秀男 ,  菰田 孜 ,  飛田 一政
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-335986
公開番号（公開出願番号）：特開平5-151927
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】 試料表面がチャージアップすることに起因した像障害を取り除いて、SN比の高い像観察を得られるようにする。【構成】 ステップS10では所望の観察倍率M0 を設定する。ステップS11では低倍率ML での照射時間t1 を設定する。ステップS12では電子プローブ10の試料面上での走査幅を可変することにより、倍率が観察倍率M0 から低倍率ML に切り換えられる。ステップS13では倍率ML において照射時間t1 だけ電子線が照射され、その後、ステップS14では倍率が低倍率ML から観察倍率M0 に切り換えられる。ステップS15では試料上に電子線が照射される。ステップS16ではオペレータがCRTを参照して観察像を確認し、観察あるいは測長が可能であればステップS17へ進んで観察あるいは測長を行う。

請求項（抜粋）：

試料上の観察領域で電子線スポットを走査し、当該観察領域から2次的に発生する信号を取り込んで観察像を得る走査型電子顕微鏡において、 所望の観察倍率 (M0)に設定する第1の倍率設定手段と、観察倍率 (M0)より低い倍率 (ML)および高い倍率(MH)の少なくとも一方を設定する第2の倍率設定手段と、前記低い倍率 (ML)で電子線を予定時間照射した後に観察倍率 (M0)で像観察を行う第1の観察モード、前記高い倍率 (MH)で電子線を予定時間照射した後に観察倍率 (M0)で観察を行う第2の観察モード、ならびに前記低い倍率 (ML)および高い倍率(MH)のいずれか一方で電子線を予定時間照射した後、さらに前記いずれか他方の倍率で電子線を予定時間照射し、その後、観察倍率 (M0)で観察を行う第3の観察モードのいずれかにより像観察を行う手段とを具備したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-056807
  
• 特開昭52-106268