特許

J-GLOBAL ID：200903022670697001

高周波導入用窓材

発明者： 田島 健一 ,  丸山 博
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-221299
公開番号（公開出願番号）：特開平9-067166
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】従来の高周波導入用窓材は、耐熱性、耐熱衝撃性、機械的特性が低く、しかも耐プラズマ性に劣り、信頼性の低いものであった。【解決手段】窒化珪素を主成分とし、少なくとも周期律表第3a族化合物を含有し、該焼結体中におけるアルミニウムの酸化物換算量が2重量%以下、相対密度が97%以上、および10GHzにおける誘電損失が5×10-4以下の窒化珪素質焼結体の基体のプラズマ接触側表面にアルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニアの群から選ばれる少なくとも1種のセラミック膜を被覆する。

請求項（抜粋）：

窒化珪素を主成分とし、少なくとも周期律表第3a族化合物を含有し、該焼結体中におけるアルミニウムの酸化物換算量が2重量%以下、相対密度が97%以上、および10GHzにおける誘電損失が5×10-4以下の窒化珪素質焼結体の表面に、アルミナ(Al2 O3 )、窒化アルミニウム(AlN)、ジルコニア(ZrO2 )の群から選ばれる少なくとも1種のセラミック膜を被覆したことを特徴とする高周波導入用窓材。

IPC (4件)：

C04B 35/584 ,  G21B 1/00 ,  H05B 6/72 ,  H05H 1/46

FI (4件)：

C04B 35/58 102 H ,  G21B 1/00 X ,  H05B 6/72 Z ,  H05H 1/46 B