特許
J-GLOBAL ID：200903022671754378
基板分離装置および基板分離方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-322681
公開番号（公開出願番号）：特開平8-175701
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：
【要約】【目的】積層状態の基板を、吸着パットにより吸着して解板する際に、2枚重なり状態で吸着された場合の分離効率を高める。【構成】先端に吸着パット4を取り付けそれぞれ独立して上下動する複数のシリンダー3を配列し、2枚重なりの基板の重なり態様により各シリンダー3の最適な動作パターンを選択してシリンダー3をそれぞれ上下させることにより、吸着パット4に吸着された基板Wを波打ちさせて2枚の基板Wを分離させる。
請求項（抜粋）：
それぞれ独立して上昇、下降、中間停止のできる複数のシリンダーを平面的に配列し、前記シリンダーの先端に吸着パットを取り付け、前記吸着パットにて吸着した基板を前記シリンダーの昇降にて波打ち動作させる機構を有する吸着ヘッドと、前記の吸着された基板が各吸着パット上昇位置にて2枚重なり状態であることを検出する2枚検出装置と、この2枚検出装置の検出信号に応答して2枚重なり状態の基板の重なり態様を自己判断する再試行制御手段と、前記再試行制御手段にて判断された2枚重なり状態を分離するために前記重なり態様に応じて最適な動作パターンを選択し、各シリンダーに出力する波打ち制御手段とを有することを特徴とした基板分離装置。
IPC (5件)：
B65H 7/16
, B21D 43/24
, B65H 3/08 310
, B65H 3/08 320
, B65H 7/12
