石英系ガラス導波路の作製方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-184833
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181029
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】低コストで容易に導波路を作製できるような石英系ガラス導波路の作製方法を提供する。【構成】ゾルゲル法で得られた粉末を、ドクターブレード法にて基板上に塗布した後、熱処理して多孔質ガラスを作製し、さらに、熱処理してガラス化せしめて、石英系ガラス導波路を作製する。

請求項（抜粋）：

ゾルゲル法で得られた粉末を、ドクターブレード法にて基板上に塗布した後、熱処理して多孔質ガラスを作製し、さらに、熱処理してガラス化せしめて、石英系ガラス導波路を作製することを特徴とする石英系ガラス導波路の作製方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

前のページに戻る