特許

J-GLOBAL ID：200903022681550304

有機金属堆積用の前駆溶液の合成およびテルビウムを添加したSiO2薄膜の堆積

発明者： ウェイ ウェイ ツァン ,  ヨシ オノ ,  ティンカイ リー
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-177497
公開番号（公開出願番号）：特開2008-034840
出願日： 2007年07月05日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：

【課題】安定性の高い、不純物を添加したシリコン酸化物のスピンコーティング用の前駆溶液を提供すること。【解決手段】不純物が添加されたシリコン酸化物前駆体溶液を用いて、不純物が添加されたシリコン酸化薄膜を製造する方法は、有機酸にシリコン原料を混合する工程12と2-メトキシエチルエーテルを加えて、準備的な前駆溶液を調製する工程14とを含む。準備的な前駆溶液は、加熱および攪拌16され、ろ過18される。2-メトキシエタノールにドーピング不純物を溶解20させて、不純物が添加された原料溶液を調製する。不純物が添加された原料溶液を準備的な前駆溶液と混合22して、不純物が添加されたシリコン酸化物の溶液を調製する。不純物が添加されたシリコン酸化物の薄膜は、スピンコーティングによってウェーハ上に形成24される。薄膜およびウェーハは、漸次的に温度を上昇させながら焼成26された後、アニール28される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

不純物が添加されたシリコン酸化物前駆体溶液を用いて、不純物が添加されたシリコン酸化薄膜を製造する方法であって、 上記製造方法は、以下の工程: 有機酸にシリコン原料を混合する工程; 上記シリコン原料および上記有機酸に対して2-メトキシエチルエーテルを加えて、準備的な前駆溶液を調製する工程; 準備的な上記前駆溶液を加熱および攪拌する工程; 準備的な上記前駆溶液を濾過する工程; 2-メトキシエタノールにドーピング不純物を溶解させて、不純物が添加された原料溶液を調製する工程; 準備的な上記前駆溶液と、不純物が添加された上記原料溶液とを混合して、不純物が添加されたシリコン酸化物の前駆溶液を調製する工程; 不純物が添加されたシリコン酸化物の上記前駆溶液をウェーハ上にスピンコーティングすることによって、不純物が添加されたシリコン酸化物の薄膜をウェーハ上に形成する工程; 漸次的に温度を上昇させながら上記薄膜および上記ウェーハを焼成する工程;ならびに 上記薄膜および上記ウェーハを少なくとも1回、アニーリングする工程 を包含することを特徴とする方法。

IPC (3件)：

H01L 21/316 ,  C09K 11/08 ,  C09K 11/59

FI (4件)：

H01L21/316 G ,  C09K11/08 B ,  C09K11/59 ,  H01L21/316 P

Fターム (27件)：

3K107AA05 ,  3K107CC45 ,  3K107DD53 ,  3K107DD54 ,  3K107DD56 ,  3K107FF14 ,  3K107FF17 ,  3K107GG06 ,  3K107GG28 ,  4H001CA04 ,  4H001CF02 ,  4H001XA08 ,  4H001XA14 ,  4H001YA65 ,  5F058BA20 ,  5F058BC02 ,  5F058BC03 ,  5F058BC04 ,  5F058BC05 ,  5F058BC20 ,  5F058BD04 ,  5F058BD05 ,  5F058BD06 ,  5F058BD07 ,  5F058BD18 ,  5F058BF46 ,  5F058BH03