特許
J-GLOBAL ID：200903022689743756
形状可変鏡および該形状可変鏡の組立方法ならびに該形状可変鏡を用いた補償光学装置、アレイレーザ発振器、レーザ同位体分離器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-138635
公開番号（公開出願番号）：特開平5-333274
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 形状可変鏡の変形の高速化、高精度加工および組立作業の早期化を可能とする。【構成】 ミラーと複数のアクチュエータと、弾性体で被覆され、前記アクチュエータの変位を前記ミラーに伝えるプッシャーと、前記ミラーおよび前記プッシャーの接続部を充填する充填剤と、前記アクチュエータの前記プッシャーとの接続部に対し反対側端部を充填する比較的硬度の高い充填剤とを設け、かつ前記ミラーを研磨する前にその母材と前記プッシャーとを前記充填剤に組み付け、前記ミラー母材を研磨後、前記アクチュエータの一端部を前記プッシャーに組み付けるとともに、他端部を前記比較的硬度の高い充填剤にて組み付けたものである。
請求項（抜粋）：
レーザビームおよび光の位相分布を可変にした形状可変鏡において、ミラーと、複数のアクチュエータと、弾性体にて被覆され、前記アクチュエータの変位を前記ミラーに伝えるプッシャーと、前記ミラーおよび前記プッシャーの接続部を充填する充填剤と、前記アクチュエータの前記プッシャーとの接続端に対し反対側端部を充填する比較的硬度の高い充填剤とを設けたことを特徴とする形状可変鏡。
IPC (4件)：
G02B 26/06
, B01D 59/34
, G02B 5/10
, H01S 3/101
