特許

J-GLOBAL ID：200903022698842732

酸性過酸化水素水溶液の安定化法

発明者： 南部 忠彦 ,  藤田 敏雄 ,  有松 一比古
出願人/特許権者： キレスト株式会社
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-268889
公開番号（公開出願番号）：特開平6-115909
出願日： 1992年10月07日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：

【要約】【目的】 銅および銅合金にピックリング、エッチング、ケミカルポリッシング等の化学的処理を施す際に使用される酸性過酸化水素水溶液の様に、Cuイオンの混入してくる場合において、Cuイオンによる過酸化水素の分解を抑制すると共に沈殿の生成を防止する。【構成】 酸性過酸化水素水溶液中に、フェニルグリコールエーテル類の一種以上0.1〜10g/リットルと、グリコールエーテル類、グリコール類、酸化エチレン付加脂肪族アミンよりなる群から選択される少なくとも一種を、上記フェニルグリコールエーテル類の重量に対して0.5〜2倍量含有させ、過酸化水素の分解を抑制する。

請求項（抜粋）：

銅イオンが混入している酸性過酸化水素水溶液中に、下記一般式[1] で示されるフェニルグリコールエーテル類の一種以上と、下記一般式[2] で示されるグリコールエーテル類、下記一般式[3] で示されるグリコール類、下記一般式[4] で示される酸化エチレン付加脂肪族アミンよりなる群から選択される化合物の少なくとも一種とを含有させることを特徴とする酸性過酸化水素水溶液の安定化法。【化1】

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭49-109296
  
• 特公昭54-002607
  

審査官引用 (2件)

• 特開昭49-109296
  
• 特公昭54-002607