特許
J-GLOBAL ID：200903022700325392
圧電振動子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-025830
公開番号（公開出願番号）：特開平5-199056
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【構成】 支持部材14と蓋15とを接触させ、しかる後に真空中、あるいは不活性ガス中にて直流電圧を両者に印加し、陽極接合を行うことにより、支持部材と蓋とを気密封止する。【効果】 接合材を溶融させること無く支持部材と蓋との接合が可能なため、ガス発生がなく、経時変化の少ない高安定な圧電振動子が得られる。さらに、圧電振動子容器の小型化、薄型化が実現できる。
請求項（抜粋）：
支持部材と蓋とを真空中もしくは不活性ガス中にて接合する気密封止方法において、前記支持部材と蓋との間に直流電圧を印加し、前記支持部材と蓋とを陽極接合することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
引用特許：
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