特許
J-GLOBAL ID：200903022701941895

マイクロエレクトリカルメカニカルシステム(MEMS)光変調器、MEMS光モジュール、MEMS光ディスプレイシステム、および、MEMS光変調方法

発明者：
ガリー ケー.スタークウェザー

ガリー ケー.スタークウェザー について

, 
マイケル ジェイ.シンクレアー

マイケル ジェイ.シンクレアー について


出願人/特許権者：
マイクロソフト コーポレイション

マイクロソフト コーポレイション について


代理人 (1件)： 谷 義一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-331341
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214543
出願日： 2001年10月29日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：
【要約】【課題】 MEMSアクチュエータにより光を変調するMEMS光変調器、MEMS光モジュール、MEMS光ディスプレイシステム、および、MEMS光変調方法を提供すること。【解決手段】 MEMS光ディスプレイシステムを、照明光源と、照明光を受光して平行照明光を形成するコリメータレンズと、平行照明光を収束する小型レンズのアレイを有する収束マイクロレンズアレイと、MEMS光変調器とを備える構成とした。収束マイクロレンズアレイは照明光をMEMS光変調器に導き、MEMS光変調器は、たとえば複数のピクセル開口部が延びる平坦な基板と、開口部の上でMEMSシャッタを支持し選択的に位置決めする複数のMEMSアクチュエータとを備え、収束マイクロレンズアレイからの光は開口部を通って焦点を結び、MEMSアクチュエータによるMEMSシャッタの位置決めによって選択的に変調されて照明光上で画像情報を伝える。
請求項（抜粋）：
照明光を提供する照明光源と、前記照明光を受光して平行照明光を形成するコリメータレンズと、前記平行照明光を収束する複数の小型レンズで構成されたアレイを有する収束マイクロレンズアレイと、複数のピクセル開口部が延在する平坦な基板と、前記ピクセル開口部の上で複数のマイクロエレクトリカルメカニカルシャッタを支持して選択的に位置決めする複数のマイクロエレクトリカルメカニカルアクチュエータとを含み、前記ピクセル開口部が前記収束マイクロレンズアレイから照明光を受光するように位置決めされており、前記マイクロエレクトリカルメカニカルシャッタの選択的な位置決めに従って前記照明光が選択的に通過するマイクロエレクトリカルメカニカル光変調器と、前記マイクロエレクトリカルメカニカル光変調器を通過する照明光を受光するディスプレイ画面とを備えることを特徴とするマイクロエレクトリカルメカニカル光ディスプレイシステム。
IPC (3件)：
G02B 26/02 ,  G02B 27/18 ,  H04N 5/66
FI (3件)：
G02B 26/02 B ,  G02B 27/18 Z ,  H04N 5/66 A
Fターム (10件)：
2H041AA05 ,  2H041AA12 ,  2H041AB02 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AC07 ,  2H041AZ08 ,  5C058AA18 ,  5C058BA05 ,  5C058BA08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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