特許

J-GLOBAL ID：200903022705257310

離形フィルム

発明者： 小山 俊也
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-262898
公開番号（公開出願番号）：特開平10-100355
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 離形層中の不純物が少なくかつフィルム中の不純物が離形層表面に移行するのが抑制された、シリコーンウエハー製造用途粘着剤の保護フィルムに有用な離形フィルムを提供する。【解決手段】 ポリエチレン-2,6-ナフタレートフィルムの少なくとも片面に、テトラエトキシシランの加水分解物を0.02〜2μmの厚さで塗工しさらにその上に残留接着率が95%以上のシリコーン離形層を設けてなる離形フィルム。

請求項（抜粋）：

ポリエチレン-2,6-ナフタレートフィルムの少なくとも片面にSi(OC2H5)4の硬化物を0.02〜2μmの厚さで塗工しさらにその上に残留接着率が95%以上のシリコーン離形層を設けてなる離形フィルム。

IPC (4件)：

B32B 27/36 ,  B32B 27/00 ,  B32B 27/00 101 ,  C08J 7/04 CFD

FI (4件)：

B32B 27/36 ,  B32B 27/00 L ,  B32B 27/00 101 ,  C08J 7/04 CFD Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 離形フイルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-205699   出願人：帝人株式会社
• プライマー組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-172653   出願人：東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社
• 離型フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-183753   出願人：東レ株式会社
• 特開昭60-057642