特許

J-GLOBAL ID：200903022726823242

真空容器および真空容器からの排気方法

発明者： 後藤 信朗 ,  豊田 一郎
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-175490
公開番号（公開出願番号）：特開平11-336662
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】【課題】 大な労力を必要せずに製作でき、内面研磨やベーキングなどを行わなくても短時間で簡単に高真空環境にすることができる真空容器および真空容器からの排気方法を提供する。【解決手段】 186nmよりも短い波長の紫外線を照射する光源5を真空容器1の内部に設け、真空排気主ポンプ2および真空排気粗引きポンプ3を作動して真空容器1内を吸引排気し、光源5から真空容器1の内面に186nmよりも短い波長の紫外線を照射し、真空容器1の内面に吸着している水分子や機械油などの炭素系分子や酸素分子などのような気体分子に光エネルギを与え、当該気体分子を振動励起して当該内面から離脱させて当該容器1の内部から容易に排出できるようにした。

請求項（抜粋）：

紫外線を照射する光源を内部に備えていることを特徴とする真空容器。

IPC (6件)：

F04B 37/16 ,  C23C 14/00 ,  H01J 37/02 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (6件)：

F04B 37/16 A ,  C23C 14/00 C ,  H01J 37/02 ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B