特許

J-GLOBAL ID：200903022729234027

基板支持装置、これを備えた検査装置および露光装置

発明者： 児玉 賢一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-285985
公開番号（公開出願番号）：特開2004-127979
出願日： 2002年09月30日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】基板を吸着によって支持する際に、吸着領域内の吸着力が均一な基板支持装置、これを備えた検査装置および露光装置を提供する。【解決手段】基板と略同形で該基板より僅かに小さい基板吸着部22,23により、基板を支持する第1支持手段11と、基板の端部に接触して該基板を支持し、第1支持手段11に受け渡す第2支持手段12〜14とを備える。第2支持手段12〜14は、他の搬送手段から受け取った基板を第1支持手段11に引き渡す。第1支持手段11は、第2支持手段12〜14から受け取った基板を吸着によって支持する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と略同形で該基板より僅かに小さい基板吸着部により、前記基板を支持する第1支持手段と、 前記基板の端部に接触して該基板を支持し、前記第1支持手段に受け渡す第2支持手段とを備えた ことを特徴とする基板支持装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  H01L21/027

FI (5件)：

H01L21/68 P ,  H01L21/68 N ,  H01L21/68 S ,  B65G49/07 F ,  H01L21/30 503C

Fターム (29件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA08 ,  5F031HA13 ,  5F031HA24 ,  5F031HA26 ,  5F031HA29 ,  5F031HA33 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10