特許
J-GLOBAL ID:200903022734571520
アルコキシシラン化合物及び感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-382530
公開番号(公開出願番号):特開2002-179688
出願日: 2000年12月15日
公開日(公表日): 2002年06月26日
要約:
【要約】【課題】 基板との高い接着性を有し、析出等の問題が無く、良好なパターニング性能を発揮する接着剤、それを用いた耐熱性感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)【化1】(R1、R2、R'1、R'2:炭素数1〜10のアルキル基であり、mは0〜2の整数。R3、R'3:2価の有機基、R4:芳香族基を含む2価の有機基。)で示されるアルコキシシラン化合物。
請求項(抜粋):
下記一般式(1)【化1】(R1、R2、R'1、R'2は各々独立に炭素数1〜10のアルキル基であり、mは0〜2の整数を示す。R3、R'3は2価の有機基、R4は芳香族基を含む2価の有機基を示す。R3とR'3は同じであっても異なっていても良い。)で示されるアルコキシシラン化合物。
IPC (9件):
C07F 7/18
, C08F 2/44
, C08F 2/46
, C08F290/14
, C08K 5/544
, C08L101/00
, G03F 7/075 501
, G03F 7/085
, H01L 21/027
FI (10件):
C07F 7/18 X
, C08F 2/44 B
, C08F 2/46
, C08F290/14
, C08K 5/544
, C08L101/00
, G03F 7/075 501
, G03F 7/085
, H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 563
Fターム (77件):
2H025AA10
, 2H025AA13
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025CB25
, 2H025CC03
, 2H025CC20
, 2H025FA29
, 4H049VN01
, 4H049VP02
, 4H049VQ38
, 4H049VR21
, 4H049VR22
, 4H049VR23
, 4H049VR41
, 4H049VR42
, 4H049VR43
, 4H049VU23
, 4H049VW02
, 4J002AA021
, 4J002CM021
, 4J002CM041
, 4J002ED087
, 4J002EE027
, 4J002EH078
, 4J002ES017
, 4J002EV317
, 4J002EX076
, 4J002FD147
, 4J002FD206
, 4J002FD208
, 4J002GP03
, 4J011AA05
, 4J011CA02
, 4J011CB03
, 4J011DA04
, 4J011HA03
, 4J011HA04
, 4J011HB17
, 4J011PA47
, 4J011PB40
, 4J011PC02
, 4J011PC08
, 4J011QA07
, 4J011QA13
, 4J011QA17
, 4J011QA22
, 4J011QB11
, 4J011QB16
, 4J011QB17
, 4J011QC07
, 4J011QC09
, 4J011SA01
, 4J011SA21
, 4J011SA31
, 4J011SA41
, 4J011SA51
, 4J011SA64
, 4J011UA06
, 4J011UA08
, 4J011VA01
, 4J011WA01
, 4J011XA02
, 4J027AH03
, 4J027AJ08
, 4J027BA19
, 4J027BA23
, 4J027CA29
, 4J027CB10
, 4J027CC02
, 4J027CC03
, 4J027CD10
, 5F046HA07
引用特許: