特許
J-GLOBAL ID:200903022734571520

アルコキシシラン化合物及び感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-382530
公開番号(公開出願番号):特開2002-179688
出願日: 2000年12月15日
公開日(公表日): 2002年06月26日
要約:
【要約】【課題】 基板との高い接着性を有し、析出等の問題が無く、良好なパターニング性能を発揮する接着剤、それを用いた耐熱性感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)【化1】(R1、R2、R'1、R'2:炭素数1〜10のアルキル基であり、mは0〜2の整数。R3、R'3:2価の有機基、R4:芳香族基を含む2価の有機基。)で示されるアルコキシシラン化合物。
請求項(抜粋):
下記一般式(1)【化1】(R1、R2、R'1、R'2は各々独立に炭素数1〜10のアルキル基であり、mは0〜2の整数を示す。R3、R'3は2価の有機基、R4は芳香族基を含む2価の有機基を示す。R3とR'3は同じであっても異なっていても良い。)で示されるアルコキシシラン化合物。
IPC (9件):
C07F 7/18 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08F290/14 ,  C08K 5/544 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/075 501 ,  G03F 7/085 ,  H01L 21/027
FI (10件):
C07F 7/18 X ,  C08F 2/44 B ,  C08F 2/46 ,  C08F290/14 ,  C08K 5/544 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/075 501 ,  G03F 7/085 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 563
Fターム (77件):
2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CB25 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29 ,  4H049VN01 ,  4H049VP02 ,  4H049VQ38 ,  4H049VR21 ,  4H049VR22 ,  4H049VR23 ,  4H049VR41 ,  4H049VR42 ,  4H049VR43 ,  4H049VU23 ,  4H049VW02 ,  4J002AA021 ,  4J002CM021 ,  4J002CM041 ,  4J002ED087 ,  4J002EE027 ,  4J002EH078 ,  4J002ES017 ,  4J002EV317 ,  4J002EX076 ,  4J002FD147 ,  4J002FD206 ,  4J002FD208 ,  4J002GP03 ,  4J011AA05 ,  4J011CA02 ,  4J011CB03 ,  4J011DA04 ,  4J011HA03 ,  4J011HA04 ,  4J011HB17 ,  4J011PA47 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA07 ,  4J011QA13 ,  4J011QA17 ,  4J011QA22 ,  4J011QB11 ,  4J011QB16 ,  4J011QB17 ,  4J011QC07 ,  4J011QC09 ,  4J011SA01 ,  4J011SA21 ,  4J011SA31 ,  4J011SA41 ,  4J011SA51 ,  4J011SA64 ,  4J011UA06 ,  4J011UA08 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J011XA02 ,  4J027AH03 ,  4J027AJ08 ,  4J027BA19 ,  4J027BA23 ,  4J027CA29 ,  4J027CB10 ,  4J027CC02 ,  4J027CC03 ,  4J027CD10 ,  5F046HA07
引用特許:
審査官引用 (4件)
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引用文献:
審査官引用 (3件)

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