特許
J-GLOBAL ID：200903022738921924
クリーンルーム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 清美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-128221
公開番号（公開出願番号）：特開平7-310941
出願日： 1994年05月18日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】作業性が良好で、設備費が安く、製造装置のライン変更への対応が容易で、しかも作業・通路域で発生した塵埃が高清浄域に流入することのないクリーンルームを提供する。【構成】室内に空気ゾーンにより高清浄域Aと低清浄域Bを形成すべくこれらの各域に対応する清浄空気吹出口2a、2bをそれぞれ天井に備え、かつ前記高清浄域と低清浄域との境界部の天井に、境界用空気吹出口2cを設け、この境界用空気吹出口からは、高清浄域への吹出し空気流よりも速度の速い空気流で清浄空気が吹き出されるようにした。
請求項（抜粋）：
室内に空気ゾーンにより高清浄域と低清浄域を形成すべくこれらの各域に対応する清浄空気吹出口をそれぞれ天井に備え、また床には床下の排気風路へ空気を吸い込む吸入孔を形成し、かつ前記高清浄域と低清浄域との境界部の天井に、境界用空気吹出口を設け、この境界用空気吹出口からは、高清浄域への吹出し空気流よりも速度の速い空気流で清浄空気が吹き出されるようにしたクリーンルーム。
IPC (2件)：
引用特許：
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