特許

J-GLOBAL ID：200903022739513684

基板固定装置

発明者： 小林 達宜 ,  清水 信 ,  佐藤 弘
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社 ,  玉川マシナリー株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253285
公開番号（公開出願番号）：特開2001-070894
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】 高速回転される基板を効果的に固定することができる基板固定装置を提供する。【解決手段】 基板固定装置1を、ウェーハW(基板)が載置されて駆動装置によって回転駆動されるステージ5と、ステージ5に、その回転中心を中心とする円上に設けられて、ウェーハWの周縁部を押さえてステージ5上に固定する固定爪8と、固定爪8を操作してウェーハWの固定の解除を行う固定解除装置9とによって構成する。固定爪8をステージ5の回転軸線Oを通る略鉛直面上を揺動可能に設ける。固定爪8の揺動される上端にウェーハWの周縁部と係合してこれを固定する係合部19を設ける。固定爪8を、その重心Gが、揺動される下端において揺動中心Cから下ろした鉛直線Vよりも前記ステージ5の回転中心側に位置するよう重量配分する。

請求項（抜粋）：

基板が略水平にして載置されて、駆動装置によって前記基板とともに略水平面上で回転駆動されるステージと、該ステージに、その回転中心を中心とする円上に設けられて、前記基板の周縁部を押さえて前記ステージ上に固定する固定爪と、該固定爪を操作して前記基板の固定の解除を行う固定解除装置とを備え、前記固定爪は、前記ステージによって該ステージの回転軸線を通る略鉛直面上を揺動可能にして支持され、その揺動される上端には前記基板の周縁部と係合される係合部が設けられており、その重心が、前記係合部が前記基板と係合している状態において、揺動される下端側で、揺動中心から下ろされる鉛直線よりも前記ステージの回転中心側に位置するよう重量配分されていることを特徴とする基板固定装置。

IPC (4件)：

B08B 1/04 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304 651

FI (4件)：

B08B 1/04 ,  B08B 3/02 B ,  H01L 21/304 648 Z ,  H01L 21/304 651 B

Fターム (20件)：

3B116AA03 ,  3B116AB01 ,  3B116AB34 ,  3B116AB44 ,  3B116BA01 ,  3B116BB21 ,  3B116BB62 ,  3B116BB71 ,  3B116CC03 ,  3B116CD33 ,  3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201AB34 ,  3B201AB44 ,  3B201BA01 ,  3B201BB21 ,  3B201BB62 ,  3B201BB71 ,  3B201CC13 ,  3B201CD33