研削ホイール用超精密ツルーイング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山内康伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-123149
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296631
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】台金と脆性材料であるCBN砥粒の微小切り込みによるサブミクロン精度におけるツルーイングができる超精密ツルーイング装置を提供する。【解決手段】ベース2上にホイール駆動テーブル3とドレッサー駆動テーブル4をL字型に配置し、駆動テーブル3、4はV-V案内面および静圧案内面でガイドされ駆動テーブル3、4の送りネジに螺合したナット60のナットホルダー64が、ベース3、4上のリニアガイド71に案内されており、かつ静圧カップリング66、72を介して、駆動テーブル3、4に結合されている。各駆動テーブル34の駆動モータはダイレクトドライブ型サーボモータであり、駆動モータの制御装置が、制御分解能0.01μm以下の数値制御装置であり、両駆動テーブル3、4のフィードバックセンサが分解能0.01μmのリニアレーザスケール7、8である。

請求項（抜粋）：

ベースと、前記ベース上でX軸方向に往復動するホイール駆動テーブルと、前記ベース上で、前記X軸に直交するZ軸方向に往復動するドレッサー駆動テーブルと、前記ホイール駆動テーブル上に搭載されたホイール軸受と、該ホイール軸受に回転自在に支持され、ツルーイングされる台金またはホイールが取付けられるホイール主軸と、該ホイール主軸を回転させるホイール駆動モータからなるホイール駆動部と、前記ドレッサー駆動テーブル上に搭載されたドレッサー軸受と、該ドレッサー軸受に回転自在に支持され、ツルーイング工具であるドレッサーを取付けるドレッサー主軸と、該ドレッサー主軸を回転させるドレッサー駆動モータからなるドレッサー駆動部とからなり、前記ベースが低熱膨張鋳鉄製であり、前記ドレッサー軸受が静圧油軸受であり、前記ホイール駆動テーブルおよび前記ドレッサー駆動テーブルがいずれも、その下部摺動面が、ベースに形成したV-V案内面およびV-V案内面との間に配置されたニードルローラベアリングでガイドされ、かつ上部摺動面がベースに形成された静圧案内面に接触しており、前記ホイール駆動テーブル往復動用および前記ドレッサー駆動テーブルの往復動用の各送りネジに螺合した各ナットの各ナットホルダーが、前記ベース上のリニアボールガイドに案内されており、かつ静圧カップリングを介して、前記ホイール駆動テーブルおよび前記ドレッサー駆動テーブルのそれぞれに結合されていることを特徴とする研削ホイール用超精密ツルーイング装置。

引用特許：

出願人引用 (4件)

表面加工基板及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-256978 出願人：花王株式会社, 株式会社日進機械製作所
ダイヤモンド研削砥石と、これのツルーイング法と、ツルーイング装置と、研削仕上げされた磁気ヘツド
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-193714 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-304936

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引用文献：

出願人引用 (1件)

超精密工作機械の製作, 1993, p.44〜45

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