特許

J-GLOBAL ID：200903022742580945

高電圧導入機構

発明者： 岡崎 秀則 ,  中川 清一 ,  松本 貞夫
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071730
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268759
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 試料移動精度を向上させる。【解決手段】 電源28から低電圧を低電圧用ケーブル29を通じて高電圧出力型DC-DCコンバータ26に入力する。コンバータは入力されてきた電圧を必要なレベルまで昇圧し、該昇圧した高電圧をターゲット支持台24を介してターゲット25へ印加する。ステージ駆動機構によりステージ22を移動させることによりターゲットを移動する。ステージ上に載置されたターゲット支持台24に取り付けられた前記高電圧出力型DC-DCコンバータ26も同期して移動し、低電圧用ケーブル29も移動する。このケーブル29は低電圧用なので、ケーブルの構成要素の1つの円柱状絶縁部材層の径がより高電圧用のケーブルに対して小さく、その為に、フレキシビリティ(柔軟性)が高い。

請求項（抜粋）：

チャンバー内のターゲットに高電圧を印加する高電圧導入機構であって、ターゲット支持台に昇圧手段を取り付け、前記チャンバー外に設けられた電圧源からの電圧をケーブルを介して前記昇圧手段に入力するように成したことを特徴とする高電圧導入機構。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/248

FI (2件)：

H01J 37/20 Z ,  H01J 37/248 Z

Fターム (5件)：

5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA08 ,  5C001CC04 ,  5C001CC05