特許
J-GLOBAL ID：200903022746097068
円形加速器及び円形加速器の運転方法並びに半導体露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-211240
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061000
出願日： 1992年08月07日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、小型で、輝度の高い放射光を発生できる円形加速器及び円形加速器の運転方法、並びに高輝度の放射光を利用できる半導体露光装置を提供することにある。【構成】前段加速器11から出射した電子ビーム12を入射器13により蓄積リング内に入射させ、加速・蓄積する。その後、主偏向磁石14と補助偏向磁石15の間の直線軌道部に設置した挿入光源18を励磁し、その内部に交番磁界を発生させる。この交番磁界で電子ビームを蛇行又は螺旋運動させ、蛇行軌道の頂点又は螺旋軌道上から放出される放射光を重ね合わせることによって、輝度の高い放射光19を発生させる。
請求項（抜粋）：
電子ビーム又は陽電子ビームを加速・蓄積する円形加速器において、前記電子ビーム又は陽電子ビームの偏向を行う偏向部に放射光を重ね合わせる手段を設けたことを特徴とする円形加速器。
IPC (2件)：
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