特許

J-GLOBAL ID：200903022758703818

格子欠陥測定方法および装置

発明者： 藤浪 眞紀
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271647
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096702
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 空孔型格子欠陥の最近接に存在する原子を同定することが可能な格子欠陥測定方法および装置を提供する。【解決手段】 陽電子発生源1から試料2に入射された陽電子が空孔型格子欠陥に捕捉され、その格子欠陥の最近接原子の電子と対消滅することによって空孔型格子欠陥の最近接原子に空位軌道が形成され、その空位軌道へエネルギー準位のより高い軌道の電子が遷移することによって発生する特性X線をX線検出器4で検出し、その検出した特性X線の解析をX線データ解析装置5,6で行うようにすることにより、原子特有のエネルギー値や強度を持つ特性X線から、空孔型格子欠陥の最近接に存在する原子の種類やその濃度についての情報を得ることができるようにする。

請求項（抜粋）：

試料に入射させた陽電子が該試料中の電子と対消滅する際の電子励起によって発生する特性X線を検出し、その検出した特性X線の解析を行うようにしたことを特徴とする格子欠陥測定方法。