特許

J-GLOBAL ID：200903022761040781

離型フイルム

発明者： 小山 俊也
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-209505
公開番号（公開出願番号）：特開平9-052320
出願日： 1995年08月17日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】 ポリエステルフイルムをベースフイルムとし、ポリエステルフイルム中の不純物が離型層表面へ移行するのを抑制した、シリコーンウエハー製造の際のダイシング工程で使用する粘着剤の保護フイルム等に有用な離型フイルムを提供する。【解決手段】 ポリエステルフイルムの少なくとも片面に、シランカップリング剤を架橋させたプライマー層を設け、その上に残留接着率が95%以上であるシリコーン離型層を設けてなる離型フイルム。

請求項（抜粋）：

ポリエステルフイルムの少なくとも片面に、下記式(I)で示される化合物を架橋させた0.02〜2μmの肉厚のプライマー層を設け、その上に残留接着率が95%以上のシリコーン離型層を設けてなる離型フイルム。【化1】Y-Si-X3 ......式(I)[式(I)で、Xはアルコキシ基、Yはエポキシ基、アミノ基、ビニル基、メタクリル基、メルカプト基またはアルコキシ基を有する反応性有機官能基を示す。]

IPC (10件)：

B32B 27/00 ,  B32B 27/00 101 ,  B32B 7/06 ,  B32B 27/16 101 ,  B32B 27/36 ,  C09D183/04 JGF ,  C09J 7/02 JKV ,  C09J 7/02 JKY ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/301

FI (10件)：

B32B 27/00 L ,  B32B 27/00 101 ,  B32B 7/06 ,  B32B 27/16 101 ,  B32B 27/36 ,  C09D183/04 JGF ,  C09J 7/02 JKV ,  C09J 7/02 JKY ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/78 M