特許

J-GLOBAL ID：200903022761429891

測長用干渉計

発明者： 和田 順雄 ,  徳橋 有紀
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241766
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079816
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】 測長光や参照光の夫々のビーム間隔は、偏光プリズム等の分割光学素子の有効径によるのではなく任意に設定でき、コーナーキューブを用いなくてもアライメントが容易であり、かつコンパクトでコスト安を目的とする。【構成】 レンズ2により平行光束を集光して分割光学素子3へ傾斜して入射せしめ、該分割光学素子3にて分割された透過及び反射した発散光をそれぞれ平行光束にするレンズ5、11と、該両レンズの後方の1/4波長板6、12と、該波長板を出射した平行光束の光軸に対し垂直に位置する固定及び可動の反射鏡13、7と、該反射鏡により反射した平行光束を再び、前記1/4波長板、レンズ5、11を通過せしめて収束光とし、該収束光の収束点に反射鏡8を設け、該反射鏡8とレンズ5、11とにより夫々キャッツアイを構成せしめたものであり、更に前記分割光学素子3とレンズ5、11に換えて、焦点距離がその直径と等しい半球レンズ2枚16a、16bを偏光膜17を介して球状に形成してなる光学素子を使用しても良い。

請求項（抜粋）：

平行光束を集光して分割光学素子へ傾斜して入射せしめる第1のレンズと、該分割光学素子にて分割された透過及び反射した発散光をそれぞれ平行光束にする第2、第3のレンズと、該両レンズの後方の1/4波長板と、該波長板を出射した平行光束の光軸に対し垂直に位置する固定及び可動の反射鏡と、該反射鏡により反射した平行光束を再び、前記1/4波長板、第2、第3のレンズを通過せしめて収束光とし、該収束光の収束点に反射鏡を設け、該反射鏡と第2、第3のレンズとにより夫々キャッツアイを構成せしめたことを特徴とする測長用干渉計。