特許

J-GLOBAL ID：200903022765926130

放射線検出器

発明者： 吉田 稔 ,  中河 学 ,  小池 功一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立メデイコ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-202717
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045468
出願日： 1991年08月13日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】X線空間利用効率および光の伝達効率を高くする、表面の光反射率が均質で再現良く性能の揃った隔離板を提供し、検出効率を向上させ再生画像のS/N向上を図る、デジタルX線画像装置に用いる多素子放射線検出器を提供する。【構成】隣接する素子間を隔離する隔離板の材質に薄いMo板材1aを用い、その表面にCH3Si(OCH3)3等のオルガノシリケートの加水分解、縮合によって得られるオルガノポリシロキサン薄膜1bを設け、表面を平滑化し鏡面とし、Al、MgF2、TiO2の組合せから成る増反射多層光学薄膜1cを設ける。【効果】隔離板の材質にMoの薄板を用いX線空間利用効率の向上が図れる。表面の光反射率が85%以上と高くでき、隔離板の表面における光の吸収が減少し、光の伝達効率が向上し検出効率を向上させ再生画像のS/N向上が図れる。

請求項（抜粋）：

X線を光に変換するシンチレータと、該光を電気信号に変換するフォトダイオードとからなる検出素子を複数個配列し、隣接する該検出素子を隔離する金属性の隔離板を上記検出素子間に配置する多素子固体放射線検出器において、上記隔離板の表裏両表面がオルガノポリシロキサンを主成分とする薄膜により平滑化された後、該オルガノポリシロキサンを主成分とする薄膜表面に光反射率を高めるため、増反射光学薄膜を具備させた構造とすることを特徴とする放射線検出器。

IPC (3件)：

G01T 1/20 ,  H01L 31/09 ,  H01L 31/10

FI (2件)：

H01L 31/00 A ,  H01L 31/10 A