特許
J-GLOBAL ID:200903022768343895

マルチビームレーザ装置の光出力制御回路

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 章夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-130708
公開番号(公開出願番号):特開2001-024273
出願日: 2000年04月28日
公開日(公表日): 2001年01月26日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 複数個の半導体レーザ(LD)を備えるマルチビームレーザ装置において、各LDの光出力を制御するための光出力制御回路(APC回路)での、APC制御に必要なAPC時間を確保して適正なAPC制御を実現し、かつ高速APC制御を実現可能とする。【解決手段】 複数個のLD11A,11Bのそれぞれの光出力を検出するPD12の帰還電流ID から帰還電圧を得るI/V変換器210と、各LDのそれぞれに対応して設けられ、各LDのそれぞれに対応して設定されている基準電圧Vref1, Vref2とI/V変換器210からの帰還電圧とをそれぞれ比較する複数個のアナログ演算器221,222と、アナログ演算器221,222の出力に基づいて対応するLD11A,11Bに供給する駆動電流を制御する複数個のサンプル・ホールド回路223,224とLD駆動制御回路225,226とを備える。
請求項(抜粋):
複数個の半導体レーザを備え、前記各半導体レーザから出射するレーザビームを同期的に走査して所望のパターンを描画するマルチビームレーザ装置において、前記複数個の半導体レーザのそれぞれの光出力を検出する受光素子と、前記各半導体レーザのそれぞれに対応して設定された複数の基準値と前記受光素子の受光出力と前記各基準値とをそれぞれ比較し、その比較結果が所定の値となるように対応する半導体レーザの光出力をそれぞれ制御する光出力制御回路を備えることを特徴とするマルチビームレーザ装置の光出力制御回路。
IPC (6件):
H01S 5/0683 ,  B41J 2/44 ,  G02B 26/10 ,  H01S 5/40 ,  H04N 1/113 ,  H04N 1/23
FI (7件):
H01S 5/0683 ,  G02B 26/10 B ,  G02B 26/10 Z ,  H01S 5/40 ,  H04N 1/23 B ,  B41J 3/00 D ,  H04N 1/04 104 A

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